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场发射环境扫描电镜及能谱仪

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场发射环境扫描电镜及能谱仪

场发射环境扫描电镜及能谱仪

仪器编号:登录后查看

所属平台: 电镜集群

仪器状态:

所属单位: 浙江大学 > 建筑工程学院 > 材料微结构试验平台

仪器生产商: FEI

购置日期: 2011-12-27

使用模式: 送样预约,按时预约

规格型号: FEG650,Quanta

放置地址:紫金港校区 > 安中大楼 > 一层 > 105

仪器管理员:彭宇

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工作时间: 09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段: 1 小时
最大可预约时间段: 168 小时
日历最小单位: 1 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 24小时; 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间: 初级: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数: 5 次/天
无代价撤销预约时间: 1440 分钟
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仪器介绍:

用于观察材料表面的微细形貌、断口及内部组织,并对材料表面微区成分进行定性和定量分析,主要用途如下:1.金属、陶瓷、混凝土、生物、高分子、矿物、纤维等无机或有机固体材料的断口、表面形貌、变形层等的观察;2.材料的相分布和夹杂物形态成分的鉴定;3.金属镀层厚度及各种固体材料膜层厚度的测定等;


幻灯片1.jpeg

图1 扫描电镜仪器图。配有二次电子探头、背散射电子探头与X射线能谱探头,可以对材料的微观结构、物相组成与元素组成等信息进行观察与分析。

 

幻灯片2.jpeg

 图2 二次电子图像。二次电子图像是利用入射电子在样品内部激发的二次电子所成的像。由于二次电子能量较低,只能从样品表层较浅的区域(一般5-10 nm)逸出,且对样品表面形态、起伏敏感,在边角、转折、尖角、凸起等处逸出的二次电子较多,而在平整面、凹坑、孔隙、裂缝等处逸出的二次电子较少。因此,二次电子图像能够很好地反应样品表面形态特征。

 

幻灯片4.jpeg

 图 3 背散射电子图像及能谱分析。背散射电子是与样品发生弹性散射后被样品反弹回的入射电子,其产额与样品微区的平均原子序数成正比:平均原子系数高的区域产生的背散射电子数量多,而平均原子序数低的区域产生的背散射电子数量少。因此,背散射电子图像的明暗反应的是样品微区平均原子序数高低,可对样品不同区域的成分进行区分,结合能谱元素分析与图像处理技术,可对样品微区的物相进行定性分析与定量统计。


主要参数: 分高真空、高真空、低真空、环境真空模式,最高分辨率≤1.0nm。最大放大倍数不得少于X800000,二次电子检测器,样品台尺寸XY水平方向0~50mm,竖向Z不得少于30mm。