仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 光电科学与工程学院 > 光电磁实验室
仪器生产商： 英国STS
购置日期： 2006-12-21
规格型号： Mesc Multipler,0.01u
放置地址：紫金港校区 > 东五教学楼 > 一层 > 超净室
仪器管理员：陈辉
联系电话：登录后查看
高性能干法刻蚀设备
高性能干法刻蚀设备
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所属单位： 浙江大学 > 光电科学与工程学院 > 光电磁实验室
仪器生产商： 英国STS
购置日期： 2006-12-21
规格型号： Mesc Multipler,0.01u
放置地址：紫金港校区 > 东五教学楼 > 一层 > 超净室
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| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|
| 序号 | 标题 | 添加时间 |
|---|---|---|
| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： | 可编程逻辑，设备加载锁功能，支持3-6英寸基板尺寸，双通道进气 |
|---|
| 主要参数： | 支持注入气体：N2，O2，SF6，C4F8，CF4等，泵浦系统：MP，DP，TMP，微波信号：13.56MHz，0-300W |
|---|