仪器编号：登录后查看
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仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 信息与电子工程学院（直管）
仪器生产商： Angstrom Engineering Inc.
购置日期： 2013-11-28
规格型号： ABGCZD11036,2000mm*770mm*979mm真空腔380*380*
放置地址：520
仪器管理员：杨宗银
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.25 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.25 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 1小时； 普通资格用户: 1小时； 资深资格用户: 1小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 仪器介绍： | 可沉积各种金属材料包括难熔金属、介质材料的高纯度、高质量薄膜样品。 |
| 主要参数： | 外观尺寸：高约2000mm，宽770mm，深979mm；1个真空腔室：宽380mm，深380mm，高500mm，铝合金材质；腔室内壁表面抛光处理，铰链式结构，易于开启和关闭；真空系统设计符合CSASPE-1000认证1台前级泵：瓦里安油泵，抽速232L/min;1台分子泵：280L/s；集成安装有6个容量为7cc的Telemark电子束蒸发源，电源功率6Kw，带有变压器和控制器，程序化控制，2轴控制系统；1套镀膜控制系统，可实现共蒸，操作数据可通过USB接口导出；1个膜厚检测探头，带有水冷功能；1个样品控制台，可旋转，速度0-50转/分钟，可固定150mm的样品；1个蒸发源挡板极限真空度1*10-4Pa |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
