匀胶热板一体机 - 仪器详情

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仪器介绍
主要参数

工作时间：	08:30-17:30
最小可预约时间段：	0.5 小时
最大可预约时间段：	168 小时
日历最小单位：	0.25 小时
最近提前预约时间：	未授权用户: 0小时；普通资格用户: 0小时；资深资格用户: 0小时
最远提前预约时间：	初级: 720 小时 0 点；普通: 720 小时 0 点；资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数：	10 次/天
无代价撤销预约时间：	30 分钟

序号	标题	文件数量	添加时间	操作

检测项目名称：旋涂烘烤

检测资质：无

检测单位：微纳加工中心

仪器数量：1

序号	标题	添加时间
暂无数据

仪器介绍：	光刻胶旋涂及烘烤。适用于半导体制造，微纳米加工，传感器，MEMS，化合物，生物医疗等一切需要光刻工艺的领域。

主要参数：	最大可完成8英寸晶圆的匀胶烘烤，向下兼容。Windows操作系统，PC控制。密码设定保护。匀胶机：最大转速12000 rpm，转速精度<0.2 rpm。加速范围0~30000 rpm/s。时间设定精度0.1 s。最大9999.9 s。不均匀性<±3% @4英寸。热板：10英寸方形, 配可编程顶针和限位孔。温度设定范围300℃，温度误差±0.3%。温度均匀性±0.5℃。

主要参数：

最大可完成8英寸晶圆的匀胶烘烤，向下兼容。Windows操作系统，PC控制。密码设定保护。匀胶机：最大转速12000 rpm，转速精度<0.2 rpm。加速范围0~30000 rpm/s。时间设定精度0.1 s。最大9999.9 s。不均匀性<±3% @4英寸。热板：10英寸方形, 配可编程顶针和限位孔。温度设定范围300℃，温度误差±0.3%。温度均匀性±0.5℃。