仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
仪器生产商： DENTON
购置日期： 2023-09-26
规格型号： Explorer 14
放置地址：115
仪器管理员：孙家宝
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 08:30-22:00. |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 1 小时 |
| 最大可预约时间段： | 12 小时 |
| 日历最小单位： | 1 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： | 美国进口设备、全程自动化镀膜、易学易操作、成膜质量高、均匀性好、镀膜材料种类广、重复性好、独立操作、参数优化自由度高。 |
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| 主要参数： | 可加工6英寸样品及以下尺寸整片或碎片，厚度不限。 本地真空度优于5e-7Torr。 6英寸面内镀膜厚度均匀性优于±2%。 可进行高深宽比镀膜工艺和剥离（Lift-off）工艺。 可进行各种材料（金属、合金、化合物）的蒸镀工艺，不接受有毒有腐蚀性有挥发性材料的镀膜工艺。 |
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