仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
仪器生产商： Veeco
购置日期： 2024-11-08
规格型号： Savannah S200
放置地址：玉泉校区 > 微电子楼（功率器件研究楼） > 一层 > 115
仪器管理员：王妹芳
联系电话：登录后查看
原子层沉积系统
原子层沉积系统
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所属单位： 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
仪器生产商： Veeco
购置日期： 2024-11-08
规格型号： Savannah S200
放置地址：玉泉校区 > 微电子楼（功率器件研究楼） > 一层 > 115
仪器管理员：王妹芳
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| 工作时间： | 08:30-17:30 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.25 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|
| 序号 | 标题 | 添加时间 |
|---|---|---|
| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： | 1、 可提实现单层氧化物原子生长，样品最大8英寸（向下兼容）； |
|---|
| 主要参数： | 可沉积Al2O3、HfO2和SiO2等薄膜，8寸向下兼容 |
|---|