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场发射扫描电子显微镜

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场发射扫描电子显微镜

场发射扫描电子显微镜

仪器编号:登录后查看

所属平台: 电镜集群

仪器状态:

所属单位: 浙江大学 > 光电科学与工程学院 > 极端光学技术与仪器全国重点实验室

仪器生产商: 英国Carl Zeiss Microscopy Limite

购置日期: 2024-12-20

使用模式: 送样预约,按时预约

规格型号: ZEISS GeminiSEM 360

放置地址:其他 > B02楼 > 地下室 > 实验室

仪器管理员:徐沛拓

联系电话:登录后查看

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工作时间: 09:00-12:00;13:30-18:00
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最大可预约时间段: 168 小时
日历最小单位: 0.5 小时
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最大有效预约次数: 15 次/天
无代价撤销预约时间: 60 分钟
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仪器介绍:

场发射扫描电子显微镜(Field Emission Scanning Electron Microscope ,FESEM)是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器。具有景深大、分辨率高,成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。配备能谱探测器,可进行元素分析检测。


主要参数: 1.最大可容纳样品尺寸:长200mm、宽200mm、高50mm; 2.最大可载样品重量500g; 3.内含五轴(X、Y、Z、R、T)全自动马达驱动样品台; 4.二次电子像分辨率:0.7nm@15kV,1.2nm@1kV ; 5.加速电压可调范围:范围不小于0.02kv-30kV,10V 连续可调; 6.最大图像储存分辨率:单张图片最大图像储存分辨率优于30k×20k; 7.最大束流及束流稳定性:最大束流20nA,束流稳定性0.2%/h; 8.真空性能:高真空模式样品仓真空优于5×10 -4Pa,枪真空10 -7Pa数量级。