仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 国际联合学院（海宁国际校区） > 微纳公共平台
仪器生产商： 浙江赛威科光电科技有限公司
购置日期： 2022-05-09
规格型号： SVAC-FilmLab-T400S3,靶材尺寸：2英寸
放置地址：1E105
仪器管理员：戈佳艳
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 08:30-17:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.25 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 0小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 336 小时 0 点； 普通: 336 小时 0 点； 资深: 336 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 磁控溅射&热蒸发镀膜系统 SVAC-FilmLab 操作说明 | 1 | 2024-04-26 16:38:07 | 下载 |
| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： | 1.溅射室极限真空度：6.7*10-5Pa；2.系统漏率：1*10-7Pa.L/s；3.溅射室烘烤照明：采用红外加热除气方式，烘烤温度：150℃；4.样品台：可加热旋转，最大4英寸样品，样品台最高的加热温度为500℃，程序控温；5.样品实现自转，转速为：0-50r/min；6.靶材尺寸：2英寸。 |
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| 主要参数： | 1.溅射室极限真空度：6.7*10-5Pa；2.系统漏率：1*10-7Pa.L/s；3.溅射室烘烤照明：采用红外加热除气方式，烘烤温度：150℃；4.样品台：可加热旋转，最大4英寸样品，样品台最高的加热温度为500℃，程序控温；5.样品实现自转，转速为：0-50r/min；6.靶材尺寸：2英寸。 |
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