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可视化原位纳米力学电子显微镜(Sigma 360可测SEM&EDS&纳米力学)

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可视化原位纳米力学电子显微镜(Sigma 360可测SEM&EDS&纳米力学)

可视化原位纳米力学电子显微镜(Sigma 360可测SEM&EDS&纳米力学)

仪器编号:登录后查看

所属平台: 电镜集群

仪器状态:

所属单位: 浙江大学 > 化学系 > 化学系分析测试平台

仪器生产商: Zeiss

购置日期: 2022-12-20

使用模式: 自主预约

规格型号: Sigma 360

放置地址:紫金港校区 > 海纳苑6幢(化学大楼) > 一层 > 浙江大学紫金港校区海纳苑6幢B129室

仪器管理员:陈芳

联系电话:登录后查看

工作时间: 08:45-20:45
最小可预约时间段: 1 小时
最大可预约时间段: 168 小时
日历最小单位: 1 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 3小时; 普通资格用户: 3小时; 资深资格用户: 3小时
最远提前预约时间: 初级: 10 天 9 点; 普通: 10 天 9 点; 资深: 10 天 9 点
最大有效预约次数: 10 次/天
无代价撤销预约时间: 1440 分钟
仪器介绍:

1.观察各种固态样品表面形貌的二次电子像、背反射电子像

2.配备高性能X射线能谱仪,能同时进行样品表层的微区点、线、面元素定性、半定量及定量分析,具有形貌、化学组分综合分析能力

3.配备原位纳米力学系统,可进行原位纳米力学测试:①纳米压痕;②微柱压缩;③PTP;④DMA等

服务内容:材料表面形貌分析,元素定性半定量分析,原位纳米力学测试


主要参数: 1.二次电子像分辨率:0.9 nm (15 kV),1.3 nm(1kV,非样品台减速模式下); 2.放大倍率:放大倍率范围不小于:10x~1000000x 3.束流强度:最大束流达 20nA 4.加速电压:加速电压范围不小于:0.02kV-30KV 5.图像存储分辨率:最大图像储存达 32768 x 24576 像素 6真空系统:系统真空在持续抽12 小时以上优于5×10-6mbar(5×10-4Pa),枪真空在烘烤至少12 小时后关闭高压的情况下,优于 5×10-9 mbar(5×10-7 Pa)。 7.样品室:抽屉式拉门,样品室内部尺寸 365 mm (宽) × 365 mm (深) × 275 mm (高); 8.样品台:五轴(X; Y; Z; R; T)全自动马达驱动样品台,样品台 X 方向最大移动范围 125mm,Y 方向最大移动范围 125mm; 9.软件功能展示运行正常 10.纳米压痕:配备大载荷模块,最大载荷:≥ 250mN; 纵向载荷分辨率:≤3nN; 11.纳米压痕:最大压痕深度:≥5μm;位移分辨率:≤0.02nm;位移噪音背景: <1nm; 12.纳米压痕:传感器热漂移: ≤ 0.05 nm/sec; 13.能谱仪能量分辨率:在130,000CPS条件下Mn-Ka保证优于129eV
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