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高可控电子束场发射环境扫描电镜

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高可控电子束场发射环境扫描电镜

高可控电子束场发射环境扫描电镜

仪器编号:登录后查看

所属平台: 电镜集群

仪器状态:

所属单位: 浙江大学 > 材料科学与工程学院 > 电子显微镜中心

仪器生产商: 赛默飞

购置日期: 2025-03-13

使用模式: 送样预约

规格型号: Quattro S

放置地址:119

仪器管理员:王晋

联系电话:登录后查看

工作时间: 09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段: 1 小时
最大可预约时间段: 168 小时
日历最小单位: 1 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 24小时; 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间: 初级: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数: 5 次/天
无代价撤销预约时间: 1440 分钟
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仪器介绍:

 

Quattro SEM为具有环境真空功能的极灵活、多功能分辨率扫描电镜,可以将成像和分析全面性能与环境模式(ESEM)相结合,使得样品研究得以在自然状态下进行。 

Quattro的场发射电子枪(FEG)确保了优异的分辨率,通过不同的探测器选项,可以调节不同衬度信息,包括定向背散射、STEM和阴极荧光信息。来自多个多个探测器和探测器区分的图像可以同步采集和显示,使得单次扫描即可获得样品信息,从而降低电子束敏感样品的束曝光并实现真正额动态试验。Quattro的三种真空模式使得系统有灵活性,可以容纳广泛的样品类型,无论样品导电、绝缘、潮湿或是在高温条件下,均可获得可靠的分析结果。Quattro硬件有用户向导支持,可以指导操作者,还可以直接进行交换,轻松缩短结果获取时间。

 


主要参数: 二次电子分辨率: 高真空模式:30 kV时≤1.0 nm;1 kV时≤3.0 nm 低真空模式:30 kV时≤1.3 nm;3 kV时≤3.0 nm 环境真空模式:30kV 时≤ 1.3nm 背散射电子分辨率: 30kV时≤2.5nm(低真空模式和高真空模式下) 1 kV 时 3.0 nm(高真空下) 放大倍率:6 ~ 2,500,000× 加速电压范围:200 V ~ 30 kV 着陆电压:20 eV~30 keV,电子束减速可选 探针电流范围:1 pA ~ 200 nA,连续可调