（维修中）电子束曝光系统

（维修中）电子束曝光系统

  • 技术群集 电镜集群
  • 仪器状态
  • 所属单位 浙江大学 > 光电科学与工程学院 > 微纳光子学研究所
  • 仪器生产商 Raith
  • 购置日期 2014-05-15
  • 使用模式
  • 规格型号 ELPHY Quantum
  • 所在房间 129
  • 仪器管理员 李强
  • 联系方式 登录后查看

使用指南

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FAQ

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