感应耦合等离子体刻蚀系统

感应耦合等离子体刻蚀系统

  • 技术群集 其他
  • 仪器状态
  • 所属单位 浙江大学 > 国际联合学院（海宁国际校区） > 微纳公共平台
  • 仪器生产商 SENTECH仪器（德国）有限公司
  • 购置日期 2023-03-24
  • 使用模式 送样预约,自主预约
  • 规格型号 SI 500 ICP
  • 所在房间 1E105
  • 仪器管理员 戈佳艳
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