反应离子蚀刻机

反应离子蚀刻机

  • 技术群集 其他
  • 仪器状态
  • 所属单位 浙江大学 > 国际联合学院（海宁国际校区） > 微纳公共平台
  • 仪器生产商 英国牛津仪器等离子技术公司
  • 购置日期 2022-07-29
  • 使用模式 送样预约,自主预约
  • 规格型号 Plasmarpo 80 RIE，单腔体机构有观察室
  • 所在房间 1E105
  • 仪器管理员 戈佳艳
  • 联系方式 登录后查看

使用指南

FAQ

  • 暂无数据

用户评论

收藏

按时预约 委托预约