ALD原子层沉积系统

ALD原子层沉积系统

  • 技术群集 其他
  • 仪器状态
  • 所属单位 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
  • 仪器生产商 美国Lesker公司
  • 购置日期 2012-05-14
  • 使用模式 送样预约,自主预约
  • 规格型号 ALD150LX
  • 所在房间 110
  • 仪器管理员 王妹芳
  • 联系方式 登录后查看

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FAQ

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