基本信息

  • 生产厂商 美国Lesker公司
  • 资产编号 12005193
  • 资产负责人 王妹芳
  • 购置日期2012-05-14
  • 仪器价格132.14 万元
  • 仪器产地美国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数沉积材料:Al2O3、ZnO 工艺温度:最高350℃ 样品尺寸:4英寸向下兼容 沉积速率:Al2O3 10nm/125cycle ZnO 20nm/125cycle

仪器介绍

主要功能:用于沉积单原子层超薄膜的气相沉积设备。通过精确控制媒质的流量以及使用清除媒质,保证了一次只沉积一层指定要求的单原子层超薄膜。

可沉积Al2O3、ZnO薄膜,4寸向下兼容,最高工艺温度300℃