深反应刻蚀机

深反应刻蚀机

  • 技术群集 其他
  • 仪器状态
  • 所属单位 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
  • 仪器生产商 英国牛津仪器等离子技术公司
  • 购置日期 2013-11-28
  • 使用模式 送样预约,按时预约
  • 规格型号 GBP3260,System100ICP180,高深宽比电感耦合
  • 放置地址 玉泉校区 > 微电子楼（功率器件研究楼） > 一层 > 115
  • 仪器管理员 陈长鸿
  • 联系方式 登录后查看

使用指南

  • 暂无数据

FAQ

  • 暂无数据

用户评论

收藏

按时预约 委托预约