基本信息

  • 生产厂商 英国牛津仪器等离子技术公司
  • 资产编号 13017746
  • 资产负责人 陈长鸿
  • 购置日期2013-11-28
  • 仪器价格337.39 万元
  • 仪器产地英国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数激励电源：13.56MHz1500W,AE公司；带匹配器和功率计1台。偏压电源：500W，带自动匹配器和功率计。带定时器1台。真空系统：620升/秒分子泵，8升/秒机械泵1台，带真空计。反应室尺寸：300mm。气路系统：6路进气，4个质量流量计，4路显示。可加工片子尺寸：4英寸。可双面氯基刻蚀。均匀性：5%（4英寸内）。

仪器介绍

该系统使用了F基的刻蚀气体，具有Bosch工艺，适合于对硅材料进行大深宽比刻蚀。