基本信息

  • 生产厂商 沈阳中科仪公司
  • 资产编号 0206352Q
  • 资产负责人 ----
  • 购置日期2002-12-31
  • 仪器价格49.68 万元
  • 仪器产地中国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数衬底温度：室温~500℃；真空度：≤6.6×10^-5Pa；Rf功率：≤50W；Rf频率：13.56MHz.

仪器介绍

沉积非晶硅，氮化硅，氧化硅，氮氧化硅薄膜