基本信息

  • 生产厂商 维易科精密仪器有限公司
  • 资产编号 0707404Q
  • 资产负责人 陈红征
  • 购置日期2007-12-11
  • 仪器价格121.90 万元
  • 仪器产地美国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数工作模式：轻敲模式。测量精度：大范围扫描：XY范围不小于50μm×50μm10%Z值范围不小于5μm10%噪声小于等于0.5nmRMS；小范围扫描：XY10μm×10μm10%噪声小于0.1nmRMSZ值范围2μm10%噪声小于等于0.05nmRMS；样品最大尺寸1cm*1cm。

仪器介绍

形貌扫描、表面粗糙度分析等