基本信息
- 生产厂商 SVTA
- 资产编号 11020415
- 资产负责人 黄靖云
- 购置日期2011-12-05
- 仪器价格397.49 万元
- 仪器产地美国
- 仪器供应商
- 购买经办人
- 主要配件
- 主要参数1.激光器波长(Wavelength)：248nm脉冲能量(PulseEnergy)：700mJ平均能量(AveragePower)：30W最大重复频率(Max.Rep.Rate)：50Hz脉冲持续(PulseDuration)：25ns脉冲波动(Pulse-to-PulseStability)：1％束宽(BeamDimensionsV×H):24×10mm束散(BeamDivergenceV×H)：3×1mrad2.本底真空2×10-10Torr3.真空腔室配置金属源炉4个，等离子体辅助源炉1个衬底加热系统靶台系统高能电子衍射四级质谱仪6个衬底托
