基本信息
- 生产厂商 山东力冠微电子装备有限公司
- 资产编号 21003366
- 资产负责人 ----
- 购置日期2021-03-29
- 仪器价格115.00 万元
- 仪器产地中国
- 仪器供应商
- 购买经办人
- 主要配件
- 主要参数1、主机部分：包含真空腔室，材质内层316L。2、提拉装置：采用光栅尺测量，精度1微米。最低提拉速度≦0.1mm/H。行程：900mm。3、旋转装置：直流电机PWM电源驱动，转速稳定±1.5%转速连续可调。转速：调节范围0～50r/min。4、称重系统：采用上称重方式，量程：6KG，精度10mg，厂家：进口。5、气路系统：质量流量控制器+气动阀的方式+VCR自动焊接，气动阀选用进口。6、真空系统：油真空泵+防止油反压到真空室。7、报警系统：具有温度及水流量偏差报警。8、加热系统：中频感应加热，60kw。9、UPS电源。10、采用PLC+工控机方式，双保险架构。11、测温：红外测温+热电偶测温。12、软件：软件可终身免费升级。
