基本信息

  • 生产厂商 Carl Zeiss
  • 资产编号 21002940
  • 资产负责人 郭清
  • 购置日期2021-03-15
  • 仪器价格419.80 万元
  • 仪器产地德国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数开展碳化硅、硅功率半导体芯片的界面与微观结构观测

仪器介绍

专门针对碳化硅、硅功率半导体芯片进行芯片微观结构的解剖分析