该仪器具有超高分辨率，能观察各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像，配备超大窗口SDD探头的高性能X射线能谱仪，同时进行样品表层的微区点、线、面元素定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。与一般钨灯丝扫描电镜相比，它的低真空模式能够观察导电性能不好、或不喷金的样品的背散射电子像。