The basic information

  • Manufacturer 美国ZYGO公司
  • Asset number 0506661Q
  • Asset Manager 徐沛拓
  • Purchase date2005-12-31
  • Instrument price150.36 Ten thousand yuan
  • Origin of instruments美国
  • Instrument supplier
  • Purchase manager
  • Main accessories
  • Main parameter线性分辨力：0.001um.偏摆角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%显示较大值

Introduction of instruments

实现光学器件表面形貌的测量。