1、可用于薄膜、材料、微结构等厚度的测量及线粗糙度的测量，不限制金属非金属。

2、接触式表面形貌测量仪器，测试得到结果是一个横坐标水平面（X）方向，纵坐标深度方向（Z）的二维数据，根据该数据，可以得到台阶高度值及粗糙度值。

3、按小时计费，通常测量膜层厚度的样品，一小时可以测试六个及以上。

4、区别于AFM一是测量区域大，100微米以上区域；二是对粗糙度忍耐程度高，可以测试微米级别的粗糙度。

5、探针非易耗品，正常操作探针不会损坏。

6、如需要得到一个三维数据及三维图，建议预约“三维干涉显微镜”，同一个管理员老师。

预约须知：

有门禁上岗证同学选择”自主预约“，日历最短时长可以选择0.5 小时。

请不会操作的同学选择“送样预约”   并看如下预约要求。

1、请添加管理员老师微信13750812612 联系，预约测试时间。

2、数据可以选择干净U盘拷贝，也可以通过微信发送数据。

3、管理员老师操作，无需自己操作。带样品在预约时间来就行了。

4、”送样预约“的最短预约时间为1小时。1小时至少可以准备6个样品进行测试。

5、有磁性的以及材质软的样品，这两类样品会损害探针，不能测试；有上述问题的样品推荐使用“三维干涉显微镜”测试。

6、测量样品的测量面，需要保持水平状态（能放平）。 

7、最小可测到5nm左右厚度（根据样品本身粗糙度），更适合5nm以上50微米以下的高度差的样品进行测试。测试区域比较大，单方向可扫描100um到2000um范围。