基本信息

  • 生产厂商 光驰
  • 资产编号 14020571
  • 资产负责人 ----
  • 购置日期2014-12-15
  • 仪器价格287.27 万元
  • 仪器产地中国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数栅网尺寸17cm最大射频功率750W（13.56MHz）束電圧100V～1500V最大束電流1200mA幅度>900mm离子流密度>60μA/cm2离子流密度分布±10%以内加速电压100V～1000V标准导入气体量氧气50sccm或氩气30sccm中和器最大射频功率150W（13.56MHz）中和器最大中和電流2000mA中和器标准导入气体量氩气8sccm

仪器介绍

主要功能：制备高精度、高质量薄膜。应用范围：光学薄膜，光电薄膜，功能薄膜等。可与物理，材料，能源等学科共享。