基本信息

  • 生产厂商 德国 ATV Technologie GmbH
  • 资产编号 14003621
  • 资产负责人 ----
  • 购置日期2014-04-22
  • 仪器价格61.50 万元
  • 仪器产地德国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数温度范围：1100摄氏度温度控制精度：~+/-0.2摄氏度300摄氏度升温时间：60min降温时间：从1000摄氏度降到100摄氏度小于45分钟

仪器介绍

该工艺炉的主要功能包括：高温氧化实现二氧化硅层、高温退火