基本信息

  • 生产厂商 DISCO
  • 资产编号 21009867
  • 资产负责人 车录锋
  • 购置日期2021-06-04
  • 仪器价格61.39 万元
  • 仪器产地日本
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数1、可切割 8 英寸、6 英寸及以下尺寸晶圆 2、 英寸刀片空气主轴 3、 X 轴最大行程 420mm，Y 轴 最大行程 390mm,切割范围 260mm，最小单步步进 0.0001mm。

仪器介绍

可用于适用于硅晶圆、碳化硅、太阳能电池、玻璃、陶瓷、基板等材料划片。