基本信息

  • 生产厂商 FormFactor
  • 资产编号 22005913
  • 资产负责人 车录锋
  • 购置日期2022-05-10
  • 仪器价格81.57 万元
  • 仪器产地美国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数203*203mm 的 XY 样品台移动，5mm Z 轴运动±5.5°旋转的常温样品 台，fA 级漏电流。

仪器介绍

可用于圆片级测试、I-V 测试，振频率扫描、差分输入输出测试，电容式 MEMS 加速度计 C-V 测试、品质因数测试，MEMS 晶振带宽测试等。