基本信息
- 生产厂商 COXEM
- 资产编号 23026740
- 资产负责人 胡海红
- 购置日期2023-11-13
- 仪器价格74.80 万元
- 仪器产地韩国
- 仪器供应商浙江省科学器材进出口有限责任公司
- 购买经办人
- 主要配件 台式电镜扫描，电脑主机
- 主要参数1.电镜主体部分
1.1 电子枪：自动控制，发叉钨丝阴极。
1.2 聚焦：具有手动及自动聚焦功能。
1.3 分辨率：二次电子像分辨率优于 5.5nm @30kV SE
1.4 底片放大倍数：20x–145,000x
1.5 加速电压：1kv-29kv，1KV 步进连续可调
1.6 磁透镜系统：双聚光镜
物镜光阑： 8 位可移动，摇摆对中
扫描光栅电位移及旋转：+/-50um，0-360°
1.7 样品室：8 个以上接口，可接配内外置 EDS、EBSD、电子束曝光、自动 AI 图片解析系统等等。
1.8 样品台：三轴自动样品台 X≥33mm（马达驱动），Y≥33mm（马达台驱动）
1.9 样品室大小：≥100mm×100mm×100mm
1.10 真空系统
全自动：机器关闭 48 小时抽以上，重新抽真空时间≤3 分钟
前级真空：隔膜泵
高真空：涡轮分子泵真空系统
1.11 探测器：配置二次电子（SE）
SE： E-T 型二次电子探测器
1.12 扫描模式：快扫、慢扫；同时具备小窗口快扫、慢扫模式； 最大照片存储分辨率：5120x3840pixel
1.13 自动控制功能：自动电子枪加热、自动加束流、自动加偏压、自动对比度、自动亮度、自动故障检测等。
1.14 工作距离：4-50mm
1.15 控制系统：不低于 CPU P4 3.0GHz，RAM 2G，硬盘 500G，光盘刻录机，24″液晶显示屏，键盘，鼠标，样品杆、USB 接口
1.16、设备整体性：设备为一体机身设计，非前后或上下联体设计，增强设备稳定性，减少故障率。
2.配套设备
离子溅射仪
2.1靶（上部电极）：材料：金，直径≥50mm，厚度：≥0.12mm
2.2 真空样品室：直径：≥160mm，高：≥120mm
2.3真空指示表：最高真空度：≤ 4X10-2 mbar
2.4离子电流表：最大电流：≥50mA
2.5定时器：最长时间≥900S
配套软件
3.1电镜操作软件：用于控制电镜的拍照操作
3.2 全自动扫描软件：用于控制电镜自动扫描拍照
3.3 制剂显微分析软件：用于原辅料形貌识别以及API粒径分析
