基本信息

  • 生产厂商 中国电子科技集团公司第二研究所
  • 资产编号 20007463
  • 资产负责人 ----
  • 购置日期2020-06-15
  • 仪器价格28.68 万元
  • 仪器产地中国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数设备适合尺寸：管径×管长：φ210×1880（mm），φ208×1880（mm），φ168×1800（mm），φ255×2060（mm）；酸浸泡、DI水浸泡清洗、N2吹干；PVDF特殊加工齿轮带动转轴转动，驱动石英管转动；RT浸泡，耐腐蚀泵吸排放；内有装有喷嘴支架，强力风切，具有喷嘴及控制阀；报警保护装置（管道低压、漏液、排放互锁等）。

仪器介绍

石英炉管清洗台主要是通过酸浸泡、DI吹水浸泡冲洗及氮气吹干等功能，去除扩散工艺炉管内反应内壁附着膜层污染物，并迫使污染层自动脱离，从而达到清洁石英炉管内壁的功能作用。