基本信息

  • 生产厂商 ZYGO
  • 资产编号 24017394
  • 资产负责人 钱国英
  • 购置日期2024-09-19
  • 仪器价格373.73 万元
  • 仪器产地美国
  • 仪器供应商上海沃盾精密设备科技有限公司
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数1..通光口径:4 inch 2.峰值像素偏差<0.5 nm 3.频率稳定:<0.0001nm 4.系统传递函数:ITF > 0.7 @ 5.4 cyc/mm 5.RMS波前重复性:0.35nm, λ/1,800 (mean + 2σ)

仪器介绍

生产厂家:ZYGO 型    号:MST HD 中频波长移相斐索型激光干涉仪利用先进的激光干涉技术,实现高精度、非接触 式的表面形貌测量,适用于球面、非球面等复杂面形,有效捕捉表面面形误差、波纹 度等关键参数。在精密仪器、同步辐射、半导体、机床校准领域、极端光学技术研究 领域应用广泛。