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生产厂家:ZYGO 型 号:MST HD 中频波长移相斐索型激光干涉仪利用先进的激光干涉技术,实现高精度、非接触 式的表面形貌测量,适用于球面、非球面等复杂面形,有效捕捉表面面形误差、波纹 度等关键参数。在精密仪器、同步辐射、半导体、机床校准领域、极端光学技术研究 领域应用广泛。