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仪器可进行固态样品表面微区成分的定性、定量分析、元素分布特征分析(面分析和线分析)、元素状态分析、二次电子(SE)、背散射电子(BSE)及阴极发光(CL)图像的观察与采集,主要应用于固体地球科学、天体和行星演化、材料科学、化学、物理、文物保护、新能源材料等研究领域。