基本信息

  • 生产厂商 科特莱思科
  • 资产编号 25001662
  • 资产负责人 ----
  • 购置日期2025-03-03
  • 仪器价格191.07 万元
  • 仪器产地美国
  • 仪器供应商浙江纳德科学仪器有限公司
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数腔体尺寸：488mm宽x520mm长x914mm高，基片尺寸：最大6英寸，极限真空度：6E-8Torr，镀膜均匀性：优于+/-3%，

仪器介绍

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