基本信息

  • 生产厂商 英国 QUORUM
  • 资产编号 21013983
  • 资产负责人 宋丹丹
  • 购置日期2021-07-20
  • 仪器价格36.00 万元
  • 仪器产地英国
  • 仪器供应商中国纺织对外经济技术合作有限公司
  • 购买经办人宋丹丹
  • 主要配件 金靶、铂靶、铬靶、碳棒、膜厚检测
  • 主要参数最大离子溅射电流：>80mA，连续可调 溅射时间：1-1800s 可调 镀膜厚度：1-1000nm可调，自动终止，检测精度0.1nm 溅射用工作气体：氩气，纯度99.99%，减压阀输入压力：0.5 bar

仪器介绍

具有磁控溅射溅射法镀金属功能，有金靶、铂靶、铬靶、碳棒，同时具备膜厚检测功能，满足日常扫描电镜镀膜要求