基本信息

  • 生产厂商 Zeiss
  • 资产编号 25006554
  • 资产负责人 刘昭明
  • 购置日期2022-12-20
  • 仪器价格499.60 万元
  • 仪器产地德国
  • 仪器供应商Zeiss
  • 购买经办人方威风
  • 主要配件 能谱仪：Bruker Quantax Core Xflash 7100 主动式减震台：Tokkyokiki αL4X-911R1
  • 主要参数1.二次电子像分辨率：0.9 nm (15 kV)，1.3 nm（1kV，非样品台减速模式下）； 2.放大倍率：放大倍率范围不小于：10x~1000000x 3.束流强度：最大束流达 20nA 4.加速电压：加速电压范围不小于：0.02kV-30KV 5.图像存储分辨率：最大图像储存达 32768 x 24576 像素 6真空系统：系统真空在持续抽12 小时以上优于5×10-6mbar（5×10-4Pa），枪真空在烘烤至少12 小时后关闭高压的情况下，优于 5×10-9 mbar（5×10-7 Pa）。 7.样品室：抽屉式拉门，样品室内部尺寸 365 mm (宽) × 365 mm (深) × 275 mm (高)； 8.样品台：五轴（X; Y; Z; R; T）全自动马达驱动样品台，样品台 X 方向最大移动范围 125mm,Y 方向最大移动范围 125mm； 9.软件功能展示运行正常 10.纳米压痕：配备大载荷模块，最大载荷：≥ 250mN; 纵向载荷分辨率：≤3nN； 11.纳米压痕：最大压痕深度：≥5μm；位移分辨率：≤0.02nm；位移噪音背景: <1nm； 12.纳米压痕：传感器热漂移: ≤ 0.05 nm/sec； 13.能谱仪能量分辨率：在130,000CPS条件下Mn-Ka保证优于129eV

仪器介绍

1.观察各种固态样品表面形貌的二次电子像、背反射电子像

2.配备高性能X射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点、线、面元素定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力

3.配备原位纳米力学系统，可进行原位纳米力学测试：①纳米压痕；②微柱压缩；③PTP；④DMA等

服务内容：材料表面形貌分析，元素定性半定量分析，原位纳米力学测试