样品溶液通过雾化器形成气溶胶，进入高温的Ar等离子体，形成带正电荷的离子云，后进入含四极杆质量过滤器、碰撞/反应池和另一个四极杆质量过滤器的真空系统中，经质量分离后，到达电子倍增器。通过将特定元素的计数率与校正曲线进行比较，可计算出样品中的元素浓度。ICP-MS/MS能够实现可靠的干扰去除和多元素分析，应用于地质学、半导体、食品、环境、纳米颗粒、生命科学与生物制药等多行业领域。