扫描探针显微镜能够准确地观测样品表面微区(纳米及亚微米尺度)三维形貌；同时可对样品表面物理化学特性进行研究，能测试多种材料表面纳米力学特性、电学特性、表面电势、磁场力、静电力、摩擦力、压电等性质。并能够实现液下模块、纳米刻蚀、电化学等高级功能。