基本信息

  • 生产厂商 Zeiss
  • 资产编号 25021520
  • 资产负责人 ----
  • 购置日期2025-09-29
  • 仪器价格719.90 万元
  • 仪器产地美国
  • 仪器供应商中国纺织对外经济技术合作有限公司
  • 购买经办人
  • 主要配件 双能谱探测器: 牛津Oxofrd Ultim Extreme 无窗能谱 牛津Oxofrd Ultim Max 有窗能谱 BSD探头
  • 主要参数

仪器介绍

本中心3台SEM(搜索:农生环扫描电镜):

蔡司G560:SEM放大倍数100X-300kX,有BSD,有纳米级分辨率的EDS

蔡司G300:SEM放大倍数20X-200kX,有BSD,有EDS,能测磁性样品

日立SU8010:SEM放大倍数20X-50kX,有冷冻传输(每个月第三周开启冷冻)


放出时间:每天早上10点钟开放8天后预约,例如本周一早上10点,放出下周二的全天。


1、周一至周六开放(周六必须会自主操作,不测能谱)。

2、急样、插空、委托送样,请约凌晨时段,直接来现场粘样,留下联系方式。

3、请提前半小时以上来粘样喷金。

4、凌晨2:00-5:00时段仅用于补约机时付款,不进行测试。

管理员:齐15168361008;郑18958060128;冷冻联系赵老师18601752001。

更多问题,可扫码加钉钉询问https://atc.zju.edu.cn/upload/tinsfile/1744863675bfjwq.jpg


致谢文本、生物制样说明、仪器操作视频,详见本仪器页面中的《文件下载》





SEM型号:ZEISS GeminiSEM 560,德国;

EDS型号:OXFORD Ultim Max,英国(一般用这只有窗能谱)

                 OXFORD Ultim Extreme,英国(无窗能谱在有高分辨时会用)


SEM:高分辨率 (Inlens检测器):0.5nm/15kV;0.8nm/1kV;1.0nm/500V;加速电压范围:不小于20V~30kV,10V步进连续可调。探针电流范围:3pA~20nA(标准)。放大倍数:范围1x~2,000,000x。物镜光栏:7孔可变光阑,电动调节。能观察各种样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像,配备无窗X射线能谱仪。能以超高的分辨率观察样品表面显微结构和形貌。

EDS:无窗X射线能谱仪可同时进行样品表层微区点、线、面元素定性、半定量及定量分析,探测元素范围:Li3~U92,可对锂元素进行检测和成像,在加速电压小于2kV时块状样品中的空间分辨率低于10nm 在低于1kV加速电压下对材料进行表征。