本中心3台SEM：

蔡司G560：SEM放大倍数100X-300kX，有BSD，有纳米级分辨率的EDS

蔡司G300：SEM放大倍数20X-200kX，有BSD，有EDS，能测磁性样品

日立SU8010：SEM放大倍数20X-50kX，有冷冻传输（每个月第三周开启冷冻）

SEM型号：ZEISS GeminiSEM 560，德国；

EDS型号：OXFORD Ultim Max，英国（一般用这只有窗能谱）

                 OXFORD Ultim Extreme，英国（无窗能谱在有高分辨时会用）

SEM：高分辨率 (Inlens检测器)：0.5nm/15kV；0.8nm/1kV；1.0nm/500V;加速电压范围：不小于20V～30kV，10V步进连续可调。探针电流范围：3pA～20nA（标准）。放大倍数：范围1x～2,000,000x。物镜光栏：7孔可变光阑，电动调节。能观察各种样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像，配备无窗X射线能谱仪。能以超高的分辨率观察样品表面显微结构和形貌。

EDS：无窗X射线能谱仪可同时进行样品表层微区点、线、面元素定性、半定量及定量分析，探测元素范围：Li3～U92，可对锂元素进行检测和成像，在加速电压小于2kV时块状样品中的空间分辨率低于10nm 在低于1kV加速电压下对材料进行表征。

工作时间： 8:30-12:00，13:00-17:00 内，所有师生都可预约。

1、非工作时间无老师辅助，只开放给会独立操作者（包括换样）预约。

2、有急样请与管理员联系，可先来粘样，候补插空。

3、预约早8点30看电镜者，请尽量在前一天完成粘样，其余请提前半小时来粘样喷金。

4、凌晨2:00-5:00时段仅用于补约机时付款，不进行测试。

管理员：齐15168361008；郑18958060128；冷冻联系赵老师18601752001。

更多问题，可扫码加钉钉询问https://atc.zju.edu.cn/upload/tinsfile/1744863675bfjwq.jpg。

致谢文本、生物制样说明、仪器操作视频，详见《文件下载》