本系统为超短脉冲飞秒激光加工设备，采用双光路设计，配备高速振镜扫描系统和高数值孔径物镜聚焦系统，可实现高精度、高效率的激光微纳加工。振镜系统能够实现快速二维扫描定位，物镜系统用于高精度聚焦加工，适用于材料表面及内部的精细结构制备。该系统可开展飞秒激光微纳加工、精密刻蚀、微孔加工及表面功能结构制备等实验，具有热影响区小、加工精度高、适用材料范围广等特点，广泛应用于微纳制造、光电子器件加工及先进材料研究等领域。