基本信息
- 生产厂商 苏州方昇光电股份有限公司
- 资产编号 25033502
- 资产负责人 ----
- 购置日期2025-12-04
- 仪器价格498.00 万元
- 仪器产地中国
- 仪器供应商
- 购买经办人
- 主要配件
- 主要参数卷对卷狭缝涂布模块：（1）涂布宽度：≤100 mm ；（2）间隙控制精度：2μm ；（3）供墨速度：0.01-60 mL min-1 ；（4）等离子体处理宽幅：≤100 mm ；（5）烘箱温度：≤120℃；
原位监测模块：包含6套卤素光源，360-2500 mm ；2套激光光源，6种单色光（405，450，515，660，785，830 nm）；8套光谱检测器：200-1000 nm，可实时多点位光谱曲线的读取；
高光谱相机：成像距离：>0.5 m ；光谱范围：450-950 nm（125个波段） ；光谱分辨率：4 nm ；空间分辨率幅：200万 (0.5m 焦距 单个像素点～70 µm) ；采集帧频：20 Cubes/s ；高光谱条形光源，长200mm；漫反射板，300*50mm，全漫反射，薄膜实时照片以及像素点吸收曲线获取；
溅射（PVD）：极限真空6*10-5Pa，常压至5*10-4Pa小于15min（手套箱内）；靶材：2个，ITO，NiOx；溅射均匀性：≤±5%；N2，O2，Ar气氛控制；样品尺寸：100*100mm 4片；
热蒸镀：极限真空6*10-5Pa，常压至5*10-4Pa小于15 min（手套箱内）；蒸发源：6组；样品尺寸：100*100mm 4片；
激光刻蚀：双激光器，532 nm (15 W)，1064 nm (100 W) ；卷对卷上下料；刚性及柔性基底（100mm宽幅）；控制软件，卷对卷自动化划线；
太阳光模拟器：光谱匹配度：AM1.5G，A+级 ；辐射空间均匀： ≤±2%， A级；时间不稳定性： ≤±2%， A级；光强变化精度：≤±1%。
