本试验台面向具有曲率突变特征的复杂三维微纳结构超精密测量，通过白光干涉测量子系统的亚纳米级测量精度对扫描探针显微测量系统的纳米级测量结果进行校验分析，以揭示大长径比扫描探针与试件表面间的动力学及量子隧道结的耦合特性，为扫描探针显微成像提供真实可靠的实验研究依据，揭示复杂面型轮廓、表面粗糙度、表面波纹度等多参数测量、解耦、表征一体化理论。